微机械传感器

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发明与专利
《传感器世界》2009年第10期46-47,共2页
间接加热终端式微波功率微机械传感器及其制备方法；使用移动收集器用于接入无线传感器网络的系统和方法；用于交互式玩具的水平／位置传感器及相关的电子电路；电磁能自供电传感器；压力传感器；
关键词：微机械传感器 无线传感器网络 专利 发明 位置传感器 压力传感器 制备方法 微波功率 
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