微型热管

作品数：37被引量：148H指数：8
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相关领域：动力工程及工程热物理更多>>
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MEMS微型热管研究进展被引量：2
《微纳电子技术》2012年第3期166-172,180,共8页屈健 王谦 吴慧英 
国家自然科学基金资助项目(51076060);江苏高校优势学科建设工程资助项目;江苏大学高级人才启动基金项目(11JDG080)
MEMS微型热管作为一种新型的热管技术,在微电子、光电池、红外探测头和激光二极管等的热控制方面具有很大的应用前景。首先,介绍了MEMS微型热管的特点和基本工作原理,简单回顾了其发展历程。然后,从MEMS微型热管的加工制作方法、通道尺...
关键词：微型热管 热控制 微型冷却器 毛细力 微电子机械系统(MEMS) 
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