物理发泡绝缘

作品数：12被引量：20H指数：4
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相关领域：一般工业技术电气工程电子电信更多>>
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《电子科技文摘》1999年第9期6-6,共1页
Y99-61526-215 9912693先进栅极介电材料（含4篇论文）=Session 22:ad-vanced gate dielectrics[会,英]//1998 IEEE Symposiumon VLSI Technology（Digest of Technical Papers）.—215～223（V）本部分含4篇论文。篇名是用于未来 CMOS...
关键词：介电材料 叠层栅 工艺 健壮性 栅极 物理发泡绝缘 论文 适用于 篇名 聚乙烯材料 
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