读数头

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直线光栅测量系统双读数头自校准方法及仿真
《机电一体化》2018年第4期31-35,共5页胡超迪 
国防基础科研科学挑战专题项目"面向极端制造的大行程多维度纳米级精密驱动与微扰动控制"(项目号:JCKY2016212A506-0105)资助
针对直线光栅测量系统非线性误差的校准,论述了双读数头自校准方法的原理,并通过MATLAB进行了仿真实验。仿真结果表明该校准方法能有效测定直线光栅测量系统的非线性误差。
关键词：直线光栅 自校准 双读数头 非线性误差 
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