脉冲偏压电弧离子镀

作品数：19被引量：71H指数：5
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相关领域：金属学及工艺一般工业技术更多>>
相关作者：林国强董闯闻立时张敏赵彦辉更多>>
相关机构：大连理工大学中国科学院金属研究所中航工业北京航空制造工程研究所辽宁师范大学更多>>
相关期刊：《材料热处理学报》《稀有金属材料与工程》《无机材料学报》《物理学报》更多>>
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脉冲偏压电弧离子镀Cr-O薄膜结构及光学性能研究被引量：1
《物理学报》2015年第13期415-421,共7页刘海永 张敏 林国强 韩克昌 张林 
国家自然科学基金(批准号:51271047;51101080)资助的课题~~
采用脉冲偏压电弧离子镀技术在单晶硅基片及石英玻璃上制备了一系列均匀透明的Cr-O薄膜.用场发射扫描电子显微镜、X射线衍射仪、X射线光电子谱、纳米压痕仪、紫外可见光分光光度计等方法对薄膜的表面形貌、膜厚、相结构、成分、元素的...
关键词：Cr-O薄膜 电弧离子镀 相结构 光学性能 
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