脉冲偏压电弧离子镀

作品数：19被引量：71H指数：5
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相关领域：金属学及工艺一般工业技术更多>>
相关作者：林国强董闯闻立时张敏赵彦辉更多>>
相关机构：大连理工大学中国科学院金属研究所中航工业北京航空制造工程研究所辽宁师范大学更多>>
相关期刊：《材料热处理学报》《稀有金属材料与工程》《无机材料学报》《物理学报》更多>>
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脉冲偏压电弧离子镀Cr-O薄膜结构及光学性能研究被引量：1
《物理学报》2015年第13期415-421,共7页刘海永 张敏 林国强 韩克昌 张林 
国家自然科学基金(批准号:51271047;51101080)资助的课题~~
采用脉冲偏压电弧离子镀技术在单晶硅基片及石英玻璃上制备了一系列均匀透明的Cr-O薄膜.用场发射扫描电子显微镜、X射线衍射仪、X射线光电子谱、纳米压痕仪、紫外可见光分光光度计等方法对薄膜的表面形貌、膜厚、相结构、成分、元素的...
关键词：Cr-O薄膜 电弧离子镀 相结构 光学性能 
脉冲偏压电弧离子镀TiO_2薄膜的力学与光学性能被引量：10
《物理学报》2007年第12期7300-7308,共9页张敏 林国强 董闯 闻立时 
国家自然科学基金(批准号:50390060)资助的课题.~~
用脉冲偏压电弧离子镀技术在玻璃基片上制备均匀透明的TiO2薄膜.利用X射线衍射仪、原子力显微镜、扫描电子显微镜、紫外-可见透射光谱仪和纳米压痕仪等手段,对不同脉冲负偏压下合成薄膜的相结构、微观结构、表面形貌、力学和光学性能进...
关键词：TIO2薄膜 脉冲偏压电弧离子镀 硬度 折射率 
脉冲偏压电弧离子镀室温沉积非晶TiO_2薄膜被引量：7
《金属学报》2007年第5期509-514,共6页张敏 林国强 董闯 闻立时 
国家自然科学基金资助项目50390060
采用脉冲偏压电弧离子镀技术在玻璃基片上室温制备了均匀透明的非晶TiO2薄膜,在0--900 V范围内改变脉冲偏压幅值,考察其对薄膜沉积速率、表面形貌和光学性能的影响．结果表明,随着脉冲偏压的升高,非晶薄膜沉积速率以-100 V为界先高后低...
关键词：非晶TiO2薄膜 脉冲负偏压 电弧离子镀 光学性能 
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