纳米制造技术

作品数：58被引量：81H指数：4
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微/纳米制造技术的摩擦学挑战被引量：37
《摩擦学学报》2005年第3期283-288,共6页雒建斌 何雨 温诗铸 钟掘 
国家自然科学基金资助项目(50390062);国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2003CB716201).
评述了国内外航天、信息和军事等高技术领域中微/纳米制造技术的研究现状和发展趋势,介绍了微/纳米制造技术特征及其关键技术问题,揭示了当器件的尺度由毫米量级减小到微米甚至纳米量级时,微器件材料表面和界面的摩擦学(摩擦磨损及润滑...
关键词：微/纳米制造技术 表面与界面 摩擦学 挑战 
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