多孔硅微腔

作品数：18被引量：22H指数：3
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多孔硅微腔的光学特性和环境污染物检测
《中国科学：化学》2011年第10期1677-1677,共1页黄建峰 李莎 陈清伟 蔡林涛 
利用电化学刻蚀,制备了由一个Fabry-Perot微腔夹于两个Bragg反射镜中的多孔硅微腔光学晶体.扫描电子显微镜(SEM)清晰揭示了这种结构的"三明治"式物理构造.通过改变阳极氧化参数,可以调节这种结构的光学特性.而通过合适的热氧化和表面化...
关键词：多孔硅微腔 光学传感器 热氧化 表面修饰 环境污染物检测 
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