绝缘层厚度

作品数：17被引量：49H指数：3
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相关领域：电气工程一般工业技术电子电信更多>>
相关作者：苏新虹黄钰雷建设王达伟谢芳更多>>
相关机构：无锡华能电缆有限公司中芯国际集成电路制造(上海)有限公司京东方科技集团股份有限公司中华映管股份有限公司更多>>
相关期刊：《中国设备工程》《通讯世界》《西藏科技》《绝缘材料》更多>>
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边缘电场传感器测量金属衬底绝缘层厚度被引量：1
《传感技术学报》2018年第11期1657-1661,共5页赵俊明 王文廉 
传感激光准δ脉冲动态校准系统研究项目基金(KF201806)
针对金属衬底上的绝缘层厚度测量的需求,研究了一种基于边缘电场传感器测量方法。位于同一平面的传感电极形成边缘场电容,边缘电场穿透绝缘层后在衬底表面发生突变。用三电容模型分析了传感器的测量原理,衬底作为一个浮动电极分别与两...
关键词：厚度测量 边缘场电容 有限元 单一平面电容 
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