可燃气体传感器

作品数：29被引量：99H指数：6
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陶瓷微热板阵列式可燃气体传感器被引量：11
《光学精密工程》2012年第10期2200-2206,共7页薛严冰 唐祯安 
国家自然科学基金重大项目(No.61131004);辽宁省企为博士后项目(No.94392)
设计了基于陶瓷基底的悬桥式微热板结构以解决硅微热板高温稳定性差的问题。分析了微热板的传热过程,并通过有限元工具对其稳态热响应特性及微加热器电极结构进行了模拟。采用常规微电子技术结合激光微加工技术,实际制作了基底厚度为100...
关键词：陶瓷微热板 气体阵列传感器 一氧化碳 甲烷 工作温度 
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