空气夹层

作品数：38被引量：111H指数：6
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相关领域：建筑科学动力工程及工程热物理更多>>
相关作者：季杰石峰张欢郑雪晶张干清更多>>
相关机构：中国科学技术大学天津大学湖南科技大学湖南三德科技发展有限公司更多>>
相关期刊：《农机化研究》《传感技术学报》《建筑与预算》《经贸导刊》更多>>
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关于低功耗气体传感器阵列的研究(英文)被引量：2
《传感技术学报》2006年第1期57-59,共3页李松 Martin Jaegle Harald Boettner 
由电池驱动以微机械技术制造的气体传感器的功耗是十分关键的实际问题。为了研制低功耗气体传感器,在传感器阵列上表面制备完成后,从下表面腐蚀传感器芯片的基底,以造成传感器芯片和封装室之间形成一个空气夹层。从而对有空气夹层的传...
关键词：低功耗 气体传感器 传感器阵列 空气夹层 
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