弧光放电

作品数：123被引量：242H指数：8
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第二十讲 真空离子镀膜
《真空》2019年第5期85-88,共4页张以忱 
13 真空阴极电弧离子镀13.l 概述真空阴极电弧离子镀简称真空电弧镀(Vacuum arc plating)。如采用两个或两个以上真空电弧蒸发源(简称电弧源)时,则称为多弧离子镀或多弧镀。它是把真空弧光放电用于蒸发源的一种真空离子镀膜技术,它与空...
关键词：阴极电弧离子镀 弧光放电 多弧离子镀 阴极斑点 真空电弧 阴极弧斑 真空离子镀膜 
弧光放电氩离子清洗源被引量：2
《真空》2019年第1期27-33,共7页王福贞 陈大民 颜远全 
弧光放电氩离子清洗源是提高膜基结合力的新技术。由空心阴极枪、热丝弧枪、阴极电弧源发射的高密度弧光电子流把氩气电离,用得到的高密度的氩离子流清洗工件。工件偏压200V以下,工件偏流可以达到10A-30A,弧光放电氩离子流密度大,对工...
关键词：固体弧光放电氩离子清洗源 气体弧光放电氩离子清洗源 结合力 旋靶管型柱状非平衡闭合磁场的磁控溅射镀膜机 
第十九讲 真空溅射镀膜
《真空》2017年第5期78-80,共3页张以忱 
接2017 年第4 期第80 页） 图 84 是自动灭弧 A2K 电源的原理简图,在直流电源和靶之间增加一个称为 SPARC-LE 部件和一个电感线圈,然后用一个脉冲开关控制器来控制电源的运行,串联电感的作用是：当出现一次弧光放电或电子开关动作（中...
关键词：溅射镀膜 反向电压 触发电压 弧光放电 真空 电感线圈 直流电源 电子开关 
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