激光显微镜

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共焦激光扫描显微镜及其对集成电路的检测
《应用科学学报》1992年第4期311-317,共7页张仲宁 张淑仪 陆悦生 郭亮 
报道了一种新型的成象检测系统——共焦激光扫描显微镜,介绍了成象原理、性能和应用范围.该显微镜利用光学共焦方法,可对样品结构实现三维分层成象或结构高度差的定量测量.与传统光学显微镜相比,具有更高的分辨率(空间分辨率优于0.2μm...
关键词：集成电路 激光显微镜 显微镜 
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