隔离区

作品数：625被引量：430H指数：8
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单片集成的低暗电流1.3μm激光二极管和探测器芯片
《红外与激光工程》2018年第12期273-277,共5页丘文夫 林中晞 苏辉 
国家863计划(2013AA014202)
为了在单片上实现半导体激光二极管与探测器的集成,开展了外延材料生长及结构工艺的设计研究。通过刻蚀工艺引入隔离区的方法制备了集成背光探测器的1.3μm InGaAsP/InP半导体激光二极管芯片。管芯的光电性能测试显示,激光二极管具有较...
关键词：半导体激光二极管 背光探测器 隔离区 低暗电流 
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