光学探头

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一种新型光学探头的研制
《光电子．激光》1997年第5期344-349,共6页周剑 骆德渊 张广明 谭玉山 
本文提出一种新型的光学探头的设计方法，该光学探头可以同时用来测量某一镜面反射表面某一点的离面位移和两个角度。本文同时采用了一个小功率激光器为光源，一种新型的ＣＭＯＳ图象传感器为光电传感器件。通过相关分析法和数据拟合等...
关键词：光学探头 镜面反射表面 位移角度测量 传感器 
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