光子晶体结构

作品数:62被引量:117H指数:6
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飞秒贝塞尔光束直写铌酸锂高深径比光子晶体结构被引量:9
《中国激光》2022年第10期143-151,共9页孙伟高 季凌飞 郑锦灿 温亚楠 王冠强 
国家自然科学基金(51975017);北京市教委重点科研项目(KZ202110005012);国家重点研发计划(2018YFB1107500)。
具有深微孔结构的铌酸锂晶体可以成为具有优良光波选择性调制功能的光子晶体器件。然而,目前使用的聚焦离子束刻蚀、化学刻蚀或常规激光制孔等方法很难获得光子晶体所需的高深径比微孔。本文基于飞秒脉冲高峰值功率、超短脉宽的基本特点...
关键词:激光技术 超快激光 贝塞尔光束 铌酸锂 深径比 光子晶体 
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