硅压力传感器

作品数:153被引量:327H指数:8
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相关作者:王蕴辉庞世信张治国吴宪平刘理天更多>>
相关机构:沈阳仪器仪表工艺研究所天津大学沈阳仪表科学研究院有限公司山东佰测仪表有限公司更多>>
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硅压力传感器可靠性强化试验研究被引量:3
《微纳电子技术》2007年第7期288-290,共3页吴虹 李延夫 
为实现硅压力传感器的快速评价和快速提高传感器可靠性的目标,综合分析了国际上先进的可靠性强化试验理论与技术,并应用失效物理学原理,对硅压力传感器可靠性强化试验技术剖面进行了研究性评述。
关键词:硅压力传感器 可靠性可靠性强化试验 研究 
硅压力传感器芯片设计分析与优化设计被引量:13
《微纳电子技术》2006年第9期438-441,共4页赵艳平 丁建宁 杨继昌 王权 薛伟 
浙江省科技攻关计划项目(2005C31048)
用弹性力学和板壳力学理论分析了半导体硅压阻式压力传感器方形膜片的受力分布,为力敏电阻在应变膜上的布置提供依据;利用有限元分析方法和借助ANSYS仿真软件,对微型硅压阻式高温压力传感器应变膜进行了一系列的分析和计算机模拟,探讨...
关键词:压阻式压力传感器 力敏电阻 芯片 优化设计 
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