复合抛光

作品数：47被引量：151H指数：6
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单晶SiC基片的磁流变化学复合抛光被引量：2
《金刚石与磨料磨具工程》2022年第1期129-135,共7页梁华卓 付有志 何俊峰 徐兰英 阎秋生 
广东省基础与应用基础研究基金(2021A1515110528,2019A15150101720)。
基于芬顿反应的磁流变化学复合抛光加工原理,对单晶SiC基片进行磁流变化学复合抛光试验,研究工艺参数对其抛光效果的影响。结果表明:随着金刚石磨粒粒径的增大,材料去除率先增大后减小,而表面粗糙度先减小后增大;随着磨粒质量分数的增大...
关键词：磁流变化学复合抛光 芬顿反应 SIC 
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