复合抛光

作品数:47被引量:151H指数:6
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相关作者:阎秋生潘继生韩冰张振宇路家斌更多>>
相关机构:广东工业大学大连理工大学南京航空航天大学长春工业大学更多>>
相关期刊:《设备管理与维修》《无机材料学报》《新技术新工艺》《现代制造工程》更多>>
相关基金:国家自然科学基金陕西省教育厅省级重点实验室科研与建设计划项目广东省自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
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磁流变动压复合抛光基本原理及力学特性被引量:4
《表面技术》2020年第4期55-63,共9页付有志 路家斌 阎秋生 谢殿华 
广东省基础与应用基础研究基金(2019A1515010720);NSFC-广东省联合基金(U1801259);广州市科技计划项目(201904010300)。
目的探究磁流变动压复合抛光基本原理及抛光力学特性。方法通过建立磁流变动压复合抛光过程中流体动压数学模型,分析抛光盘面结构化单元对抛光力学特性的影响规律,并优化其结构。搭建磁流变动压复合抛光测力系统,探究工作间隙、抛光盘...
关键词:磁流变动压复合抛光 抛光力学特性 结构化单元 楔形区 单晶硅基片 
磁流变抛光技术的研究进展被引量:35
《表面技术》2019年第10期317-328,共12页王嘉琪 肖强 
陕西省教育厅重点实验室资助项目(16JS046);陕西省自然科学基金项目(2014JM7257);陕西省特种加工重点实验室开放基金项目(SXTZKFJJ201902);西安市未央区科技计划-产学研协同创新计划项目(201910)~~
磁流变抛光技术具有加工面形精度高、表面粗糙度小、加工过程易于控制、表面损伤小、加工过程中不产生新的损伤等优秀特点,因此多应用于加工要求高的精密和超精密领域,最常应用于光学加工方面。综述了磁流变抛光技术材料去除数学模型的...
关键词:磁流变抛光 数学模型 集群磁流变抛光 组合磁流变抛光 磁流变-超声复合抛光 
石英玻璃管内表面的复合光整试验研究
《表面技术》2018年第11期267-273,共7页刘顺 韩冰 马学冬 陈永君 解志文 许召宽 陈燕 
国家自然科学基金(51775258)~~
目的探究超声磁粒复合研磨与超声振动复合抛光两个试验阶段对石英玻璃管内表面加工的可能性,寻求最优的工艺参数组合。方法在石英玻璃管内添加柱形径向充磁辅助磁极,并添加超声振动,组成复合光整装置。在辅助磁极表面包裹一层研磨粒子,...
关键词:超声磁粒复合研磨 超声振动复合抛光 响应面法 石英玻璃管 表面粗糙度值 表面形貌 
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