钢套箱

作品数：568被引量：808H指数：16
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高等级防微振基础及洁净空间施工技术研究被引量：1
《城市建筑》2022年第S01期7-9,共3页王帅 王寅 
重庆市建设科技项目(城科字2021第8-14)
我国电子产品产业的核心技术处于亟须提升阶段,国内市场对光刻机、SEM、AFM等高精密设备需求越来越大,而随着国内光刻机加工线宽越来越细、其他高精密设备不断迭代更新,对防微振动洁净空间的要求越来越严苛,防微振动洁净空间的建造施工...
关键词：防微振 钢套箱 精密温控 洁净空间 液槽龙骨 
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