高均匀度

作品数:73被引量:82H指数:5
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相关机构:中国科学院上海华力微电子有限公司华南理工大学长春理工大学更多>>
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一种高均匀度均温板系统设计及测试被引量:1
《环境技术》2023年第2期123-127,共5页董德胜 曹勇 刘海静 孙成恺 王国防 倪俊 靳兆峰 
文章通过技术攻关成功研制了耐高压高均匀度的均温板,耐受压力高于5.6MPa。设计了试验测试系统,开展了均温板热扩散性能和热响应性测试。热扩散那性能测试试验结果显示,研制的均温板试件具有显著的热扩散效果,测试时试件整体温差不大于...
关键词:均温板 高热流密度 热扩散 
SDJ/W25高低温恒湿环境试验箱被引量:1
《环境技术》2009年第5期49-53,共5页熊刚 王思渝 周祖德 杨东 裴兵 
在科技高速发展的今天,越来越多的精密仪器需要进行高低温及湿热试验,以便对试品在给定环境条件下的行为能力作出评价。精密仪器往往要求低风速,低震动和高精度温场。本文介绍环境试验设备如何实现低风速、低震动下,温场高精度。
关键词:温度 湿度 试验箱 低风速 高均匀度 技术难点 
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