半导体结构

作品数：54被引量：40H指数：3
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一种半导体结构、半导体结构的制备方法和热电堆传感器
《传感器世界》2023年第5期45-45,共1页
本发明涉及一种半导体结构、半导体结构的制备方法和热电堆传感器。包括:衬底,衬底的上表面开设有凹槽,衬底的下表面开设有背腔,其中,凹槽与背腔相对设置;介质叠层,位于衬底的上表面和凹槽内,介质叠层的下表面外露于背腔;导电层,位于介...
关键词：半导体结构 热电堆传感器 导电层 背腔 叠层 凹槽 制备方法 衬底 
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