氮分压

作品数：56被引量：131H指数：6
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复合离子镀TiCN薄膜的结构与力学性能被引量：3
《金属热处理》2017年第10期139-144,共6页任鑫 赵瑞山 黄美东 孙方红 王丞 张明朗 
2016年辽宁省教育厅科学技术研究项目(LJYL007)
采用多弧离子镀和磁控溅射复合技术在304不锈钢基体表面制备了Ti CN与Ti N薄膜,研究了工艺参数中氮分压对Ti CN薄膜表面形貌、粗糙度、沉积速率、物相结构、力学性能的影响规律。结果表明:不同氮分压下所制备的Ti CN薄膜表面平整、致密...
关键词：TI CN薄膜 复合离子镀 氮分压 力学性能 
多弧离子镀TiN涂层工艺及相结构被引量：9
《金属热处理》1998年第10期5-6,8,共3页叶卫平 宫秀敏 孙伟 许大庆 
探讨了多弧离子镀技术中预轰击时间、氮分压和靶电流等对高速钢ＴｉＮ涂层的影响。结果表明，在不同的工艺条件下，ＴｉＮ涂层的相结构组成基本相同，但相对量不一样。当氮分压降低时或当预轰击时间延长时，涂层的硬度增大，耐磨性能改...
关键词：多弧离子镀 刀具 氮分压 靶电流 氮化钛涂层 
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