NEG

作品数:89被引量:210H指数:8
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一种双工位NEG吸气性能测试装置设计
《真空科学与技术学报》2024年第3期243-251,共9页戎振华 成永军 陈联 孙雯君 董猛 周超 冯天佑 马占吉 
国家自然科学基金项目(61901203)。
文章设计了可选择定压法或定容法测量非蒸散型吸气剂(NEG)吸气性能的测试装置,装置设计有两个结构对称的测试工位,可同时对两个测试样品进行预处理和性能测试,装置结构设计合理紧凑,测试效率高。测试装置可直接通过软件输出吸气速率和...
关键词:双工位 定压法 定容法 吸气性能 小孔流导 
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