压电微泵

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双层泵腔压电无阀微泵结构设计与优化被引量：1
《压电与声光》2022年第5期746-751,共6页单杰 郭利华 冉朋辉 李经民 
国家重点研发计划基金资助项目(2020YFB2009002)。
面向植入式微泵在生物医疗领域的应用需求,为了提高低电压及微型化条件下微泵的输出流量,该文设计了一种双层泵腔压电无阀植入式微泵。基于压电振子的压电耦合仿真以及微泵的电-固-液三相耦合仿真,验证了双层泵腔微泵设计的有效性,并优...
关键词：压电微泵 双层泵腔 电-固-液耦合 压电耦合 喷嘴扩散器 
压电微泵一体化自闭环微系统热管理技术研究被引量：1
《压电与声光》2021年第5期676-679,共4页余怀强 杜建宇 刘雨陇 陈星 邓立科 张磊 王玮 
近年来,以嵌入式微流体液冷散热技术为代表的主动热管理因其优异的散热性能而被广泛研究。然而,嵌入式微流体液冷散热技术常使用体积较大的外置泵、阀等构成流体回路,以致该技术难以应用于现有的射频微系统。该文提出了一种集成压电微...
关键词：热管理 微系统 压电微泵 热流密度 内嵌微通道 
压电微泵驱动信号及流量影响因素分析
《压电与声光》2018年第5期736-741,共6页杨晨明 许红 姚武昊 吴大鸣 张亚军 代伊豪 
压电微泵的泵出流量由微泵结构、压电振子特性及驱动系统驱动信号的形式决定。在机械结构及材料特性确定的条件下,压电振子的驱动信号决定着微泵输出微流量的可靠性和稳定性。在分析压电微泵驱动基理的基础上,通过Ansys对驱动压电振子...
关键词：微通道 压电微泵 计算机模拟 脉冲驱动信号 模型简化 
双腔并联式无阀压电微泵的设计及制作被引量：4
《压电与声光》2010年第4期611-614,共4页李鑫 闫卫平 徐迎华 陈怡儒 
国家自然科学基金资助项目(60574092)
为了实现微流控芯片的小型化、集成化,设计并制作了一种可定量连续输送微量液体的无阀压电微泵。该微泵采用双腔并联式结构,利用微机电系统(MEMS)技术在硅基片上制作了具有扩散口/喷口无阀结构的出入水口,采用压电双晶片作为驱动部件,...
关键词：双腔 无阀微泵 压电双晶片 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 
压电双晶片驱动的压电微泵的研究被引量：10
《压电与声光》2007年第3期302-304,共3页王海宁 崔大付 耿照新 陈兴 
国家自然科学基金重点项目(60427001);国家自然科学基金重大项目(20299030);国家自然科学基金项目(60501020)
介绍了一种基于MEMS技术的压电微泵。该微泵利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜,利用双面湿法腐蚀形成被动阀,并利用压电双晶片作为驱动部件。对压电双晶片的理论变形量和压电微泵的泵腔变化量、泵腔压缩比进行了理论分析,并对其输出流...
关键词：微泵 压电双晶片 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 
一种无阀压电微泵的研究被引量：5
《压电与声光》2006年第6期668-670,共3页王海宁 崔大付 耿照新 刘长春 陈兴 
国家自然科学基金重点项目(60427001);国家自然科学基金重大项目(20299030)
介绍了一种适用于微流体系统的无阀微泵。该微泵利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜,利用硅各向异性腐蚀形成扩散口/喷口结构,并利用压电双晶片作为驱动部件。该微泵的制作工艺简单,使用寿命长,具有良好的液体驱动性能。对于使用15 mm长...
关键词：无阀 微泵 压电双晶片 PDMS 
无阀压电微泵的动态特性研究被引量：3
《压电与声光》2005年第6期631-633,共3页赵强 崔大付 王利 王海宁 刘长春 
国家自然科学基金资助项目(20299032;60341005)
微泵作为微流控系统中的核心控制元件已成为MEMS研究的热点,现主要研究了无阀式压电微泵的工作原理及其动态工作特性。实验表明,无阀压电微泵的流速随频率呈抛物线关系变化,最佳工作频率为1 250Hz。在频率固定时,微泵流速随驱动电压的...
关键词：微泵 压电 无阀 
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