压电微电机

作品数：22被引量：34H指数：4
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惯性冲击式压电微电机的研究被引量：5
《压电与声光》2007年第2期187-189,共3页姜楠 刘俊标 方光荣 韩立 
惯性冲击式压电微电机是近年来出现的一种新型驱动装置。阐述了微电机的工作原理和运动过程,提出了几种机械结构的设计方法并进行了对比,对微电机模型进行了动力学分析,设计了相关的驱动电源并进行了实验。经验证,设计的微电机工作性能...
关键词：惯性冲击式微电机 机械设计 动力学分析 微致动器 
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