SOI衬底

作品数：20被引量：17H指数：3
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基于SOI衬底的宽带低损耗声表面波滤波器研究被引量：1
《压电与声光》2022年第5期718-721,共4页苗湘 闫坤坤 黄歆 姜靖雯 黄小东 王文 
使用结构为42°Y-X LiTaO_(3)(600 nm)/SiO_(2)(500 nm)/Si的SOI衬底,通过抑制横向模式等优化设计,研制了单端谐振器和声表面波滤波器。经测试,谐振器的谐振频率为1.5 GHz,品质因数(Q)值高达4000;滤波器的中心频率为1370 MHz,插入损耗为...
关键词：SOI衬底 大带宽 横向模式 谐振器 声表面波滤波器 
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