UFPA

作品数：17被引量：52H指数：3
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UFPA器件的新型微桥结构设计及其有限元分析被引量：1
《传感器与微系统》2007年第1期71-73,76,共4页杨晓瑜 吴志明 蒋亚东 李素 
提出一种应用于非致冷红外焦平面（UFPA）器件的U形三层微桥结构。其单元尺寸为25μm×25μm、占空比高达90％、支撑稳固且响应率高。采用有限元分析法对其进行力、热分析，并与雷神公司报导的微桥结构进行比较，证明其具有稳定的力学...
关键词：U形 三层微桥结构 有限元 非致冷 
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