A-SI太阳电池

作品数：9被引量：14H指数：2
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a-Si太阳电池p层微晶结构的研究被引量：1
《电源技术》2003年第5期459-461,共3页郝国强 张德贤 张延生 张存善 
用氢气稀释的硼烷及不同氢气稀释浓度的硅烷[n(H2)/n(SiH4)=100,n(H2)/n(SiH4)=10]作为气相反应先驱体,采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)制备出掺硼的非晶氢化硅薄膜。通过拉曼光谱、激活能测试、暗电导测试表明,高氢气稀释浓度...
关键词：A-SI太阳电池 p层微晶结构 化学气相沉积法 光透过率 电导率 
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