FMCS

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FMCS系统在FAB厂房中的应用
《今日自动化》2022年第7期1-3,14,共4页石贵春 
结合芯片制造的主要工艺流程和FAB厂房的特点,主要介绍了厂务监控系统FMCS系统的结构及优点,并就FMCS系统在FAB厂房的应用给出工程实例,为进行FAB厂房自动化控制规划提供了新方案。
关键词：FAB FMCS 自动化 
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