FMCS

作品数：35被引量：21H指数：3
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相关领域：自动化与计算机技术航空宇航科学技术更多>>
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FMCS在洁净厂房工程上的应用被引量：2
《微处理机》2020年第3期62-64,共3页姚刚 
要实现微电子洁净厂房的正常运转,离不开与之配套的电力、空调、通风、排风系统、废气处理系统、纯水系统、中温冷冻水系统、压缩空气、特气及大宗气体纯化等外围条件保障系统。在微电子厂房厂务管理中应用计算机集中监控系统(FMCS)可...
关键词：洁净厂房 厂务管理 计算机集中监控系统 
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