KRF准分子激光

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KrF准分子激光烧蚀氧化镁单晶的实验研究
《激光技术》1995年第5期283-285,共3页范永昌 戴尔.,PE 
本文采用光谱学和离子探针等检测手段，对ＫｒＦ准分子激光烧蚀氧化镁单晶的物理过程进行了实验研究。结果表明，激光烧蚀等离子体内的主要粒子形态是镁原子和一价的镁离子，其粒子的动能在３０～４５ｅＶ范围。从烧蚀部位的扫描电镜形...
关键词：激光烧蚀 氧化镁单晶 光谱测量 KRF准分子激光 
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