波导特性

作品数:32被引量:49H指数:3
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典型工艺缺陷对光波导特性的影响研究被引量:1
《光电技术应用》2015年第6期26-30,共5页范哲珲 王健 
国家自然科学基金(61275075);北京市自然科学基金(4132035)资助课题
针对半导体光波导实际制作过程中出现的典型工艺缺陷,基于有限元法提出了有效的分析方法。首次计算了真实光场入射情况下,缺陷存在时波导内部的光场,并分析了缺陷位置、大小、缺陷类型和入射光波长对半导体光波导损耗和模式耦合的影响...
关键词:半导体光波导 工艺缺陷 有限元法 传输模式分析 
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