侧向过载

作品数:4被引量:3H指数:1
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相关机构:中国人民解放军海军航空大学中国人民解放军海军工程大学西安机电信息技术研究所淮海工业集团有限公司更多>>
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一种具有高抗侧向过载的垂直敏感弹载MEMS惯性开关被引量:2
《无人系统技术》2021年第5期23-30,共8页任超 武强 付博 刘峰华 戴旭涵 杨卓青 
国家重点研发计划课题(2020YFB2008503);国家自然科学基金面上项目(61974088);国防基础科研计划先进工业技术项目资助(JCKY2019602B004)。
提出了一种具有高抗侧向过载能力的MEMS惯性开关,其结构简单且可以敏感垂直方向上的加速度冲击。开关中引入了阿基米德螺旋线式弹簧结构,当有较大的侧向冲击作用在器件上时,质量块不会发生较大幅度的侧翻位移,从而防止开关误触发并延长...
关键词:抗侧向过载 非硅微加工 阿基米德螺旋线 MEMS惯性开关 
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