测杆

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音叉光纤一体式三维谐振测头优化研究
《计测技术》2019年第2期18-21,共4页丁鹏翔 章文 陈丽娟 程真英 黄强先 
国家自然科学基金(51475131);国家自然科学基金(51175141)
音叉光纤一体式三维谐振测头是一种应用于微纳米三坐标测量机的新型测头,由石音音叉与光纤测杆测球组成。为了保持测头的振动稳定性与测量准确性,测杆的长度被限制在1 mm以内,导致其测量较大深宽比微结构的能力受限。为了在保障测头测...
关键词：谐振测头 石英音叉 测头优化 测杆长度 
杠杆内径表的精化
《计测技术》1990年第5期44-45,共2页彭志和 
关键词：内径表 测杆 传动误差 
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