超高纯

作品数：155被引量：199H指数：7
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大气压电离质谱及其用于超高纯气体分析研究进展被引量：5
《岩矿测试》2014年第6期775-781,共7页张体强 胡树国 韩桥 
国家科技支撑计划"高准确度化学计量溯源技术研究"子课题"高纯气体高准确度溯源技术研究"(2013BAK10B03)
超高纯气体在工业生产中有非常重要的地位,如半导体工业中电子气的质量直接影响半导体器件的性能,百万分之几的微量杂质气体便可导致集成电路中元件存储信息量的减少。越来越高的气体纯度要求对分析方法及仪器的灵敏度提出了很大的挑战...
关键词：大气压电离质谱 电荷传递 质子转移反应 超高纯气体分析 研究进展 
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