超精密研磨

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基于FUZZY理论的蓝宝石超精密研磨参数优化方法
《机械制造》2011年第2期20-22,共3页王笑 鲁聪达 
运用模糊理论探求蓝宝石晶圆研磨工艺参数与表面质量参数间的关系,获得优化参数以提高蓝宝石的超精密研磨加工效率和较高的表面质量。对蓝宝石的研磨工艺参数构建了三角形模糊逻辑模型,筛选出2组研磨优化参数组。通过实验结果表明,模糊...
关键词：蓝宝石 研磨参数 隶属函数 模糊优化 
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