抽速

作品数：115被引量：160H指数：6
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非蒸散型吸气剂泵(NEG)对N_(2)气的抽气特性研究被引量：1
《真空科学与技术学报》2023年第2期79-83,共5页陈千睿 魏萌萌 卢耀文 杨传森 丁双 闫睿 杨振 康朋伟 陈又琦 
北京市科技新星项目(2022115);中关村科技园概念验证项目(20210421075)。
非蒸散型吸气剂泵(NEG)是采用过渡族金属材料的吸气特性制作成的真空泵,用于超高/极高真空环境的获得及气体的纯化等方面。本文研制出吸气剂泵性能测试系统,研究了非蒸散型吸气剂泵对N_(2)气的抽气特性,分析了影响抽气性能的因素。研制...
关键词：非蒸散型吸气剂泵 抽速 激活 标准气体流量 
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