投影物镜

作品数：104被引量：312H指数：10
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国家自然科学基金
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作品数：3164202被引量：8320308H指数：431
相关主题：数值模拟 英文 影响因素 稳定性 神经网络
相关领域：医药卫生 理学 自动化与计算机技术 经济管理 农业科学
国家科技重大专项
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作品数：155256被引量：842058H指数：181
相关主题：数值模拟 鄂尔多斯盆地 影响因素 煤层气 页岩气
相关领域：医药卫生 石油与天然气工程 天文地球 环境科学与工程 农业科学
国家高技术研究发展计划
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作品数：254143被引量：1394178H指数：194
相关主题：数值模拟 水稻 仿真 遗传算法 机器人
相关领域：自动化与计算机技术 农业科学 电子电信 医药卫生 理学
国家科技重大专项(2009ZX02005)
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作品数：20被引量：90H指数：5
相关主题：投影物镜 调节机构 光学元件 轴向 光学器件
相关领域：机械工程 电子电信 理学 自动化与计算机技术
国家科技重大专项(2009ZX02205)
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作品数：136被引量：638H指数：13
相关主题：光学制造 光学设计 非球面 光刻物镜 光学元件
相关领域：机械工程 理学 电子电信 自动化与计算机技术 化学工程
国家高技术研究发展计划(2002AA4Z3000)
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作品数：13被引量：61H指数：5
相关主题：光刻机 投影物镜 光刻 硅片 温度控制
相关领域：电子电信 自动化与计算机技术 机械工程 经济管理 理学
国家自然科学基金(40974110)
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作品数：16被引量：77H指数：6
相关主题：投影物镜 照明系统 成像光谱仪 光学设计 极紫外
相关领域：机械工程 理学 电子电信 金属学及工艺 自动化与计算机技术
国家自然科学基金(60938003)
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作品数：23被引量：137H指数：8
相关主题：掩模 光刻 成像系统 极紫外投影光刻 投影物镜
相关领域：机械工程 理学 电子电信 航空宇航科学技术 天文地球
国家自然科学基金(60578051)
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作品数：25被引量：138H指数：7
相关主题：正弦相位调制 光刻机 工件台 INTERFEROMETER INTERFEROMETERS
相关领域：电子电信 机械工程 理学 自动化与计算机技术
上海市自然科学基金
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作品数：21285被引量：103070H指数：62
相关主题：数值模拟 英文 遗传算法 网络 肿瘤
相关领域：医药卫生 理学 自动化与计算机技术 电子电信 电气工程
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