史建伟

作品数：2被引量：7H指数：2
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发文主题：加速度传感器隧道效应传感器微加速度计微机械加工更多>>
发文领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
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扭摆式微硅隧道加速度传感器被引量：5
《电子器件》2001年第4期285-294,共10页陈德英 茅盘松 史建伟 熊涛 张旭 金肖科 
本文介绍了扭摆式隧道加速度传感器的结构、工作原理、简化的力学模型 ,设计了版图、工艺流程及关键工艺 ,并制备出样品 。
关键词：微硅 扭摆式 隧道效应 加速度传感器 
隧道加速度计的发展概况被引量：4
《电子器件》1999年第3期188-193,共6页史建伟 陈德英 
利用隧道电流对于位移的敏感性，可以制作高分辨率的加速度计。本文介绍了隧道加速度计的工作原理、特点及发展趋势。
关键词：微加速度计 微机械加工 隧道加速度计 传感器 
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