张增院

作品数:5被引量:9H指数:2
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供职机构:郑州大学物理工程学院更多>>
发文主题:光学性质微结构结构和光学性质氧化银反射率更多>>
发文领域:理学电子电信更多>>
发文期刊:《真空科学与技术学报》《真空》《物理学报》更多>>
所获基金:国家自然科学基金河南省教育厅自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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直流脉冲磁控反应溅射技术制备掺铝氧化锌薄膜的研究被引量:3
《物理学报》2012年第3期338-343,共6页陈超 冀勇 郜小勇 赵孟珂 马姣民 张增院 卢景霄 
国家自然科学基金(批准号:60807001);河南省教育厅自然科学研究计划项目(批准号:2010A140017);河南省高等学校青年骨下教师资助计划;郑州大学研究生创新基金项目(批准号:11L1902)资助的课题~~
采用直流脉冲磁控反应溅射技术,在不同氧氩比(GFR)条件下玻璃衬底上制备了一系列掺铝氧化锌(AZO)薄膜,并利用X射线衍射、扫描电子显微镜和分光光度计从宏观应力和微观晶格畸变的角度研究了GFR对薄膜结构、表面形貌和光学特性的影响.制...
关键词:掺铝氧化锌薄膜 直流脉冲磁控反应溅射 光学性质 氧氩比 
真空热退火温度对单相Ag_2O薄膜微结构和光学性质的影响被引量:1
《物理学报》2011年第3期442-447,共6页张增院 郜小勇 冯红亮 马姣民 卢景霄 
国家自然科学基金(批准号:60807001);国家重点基础研究发展计划(973)项目(批准号:2011CB201605);河南省教育厅自然科学研究计划项目(批准号:2010A140017)资助的课题~~
利用直流磁控反应溅射技术在玻璃衬底上沉积了单相Ag2O薄膜,并采用真空热退火对单相Ag2O薄膜在不同热退火温度(TA)下进行了1h热处理.利用X射线衍射谱、扫描电子显微镜和分光光度计研究了TA对单相Ag2O薄膜微结构和光学性质的影响.研究结...
关键词:Ag2O薄膜 热退火温度 微结构 光学性质 
反应气压对直流磁控反应溅射制备的氧化银薄膜的结构和光学性质的影响被引量:2
《物理学报》2011年第1期486-491,共6页张增院 郜小勇 冯红亮 马姣民 卢景霄 
国家自然科学基金(批准号:60807001);河南省教育厅自然科学研究计划项目(批准号:2010A140017)资助的课题~~
利用直流磁控反应溅射技术,通过调节反应气压(RP),在250℃衬底温度下制备了一系列氧化银(AgxO)薄膜,并利用X射线衍射谱、能量色散谱和分光光度计重点研究了RP对AgxO薄膜的结构和光学性质的影响.研究结果表明,随着RP从0.5Pa升高到3.5Pa,...
关键词:氧化银薄膜 直流磁控反应溅射 X射线衍射谱 光学性质 
光快速热处理温度对氧化银多孔薄膜微结构和表面形貌演化的影响
《真空》2010年第5期13-15,共3页冯红亮 梁艳 郜小勇 张增院 马姣民 
国家自然科学基金(No;60807001);郑州大学大学生创新基金(No;A196)
利用直流反应磁控溅射技术,在玻璃衬底上制备了氧化银薄膜。X射线衍射和扫描电子显微镜表明制备的氧化银薄膜主要由Ag和Ag2O组成,具有疏松、多孔的表面特征。制备的氧化银薄膜经过5 min光快速热处理后,薄膜由多晶转变为非晶;随着退火温...
关键词:氧化银薄膜 磁控溅射 光快速热处理 多孔薄膜 
氧化银薄膜的微结构对其反射率和透射率的影响被引量:5
《真空科学与技术学报》2010年第2期211-214,共4页冯红亮 粱艳 郜小勇 林清耿 张增院 马姣民 卢景霄 宁皓 
国家自然科学基金资助项目(No.60807001);郑州大学研究生创新基金资助项目(No.A196)
保持150℃的衬底温度不变,通过调节氧氩比(OFR=[O2]/[Ar]),利用直流反应磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了一系列氧化银薄膜。利用X射线衍射谱、扫描电子显微镜和分光光度计重点研究了薄膜的微结构对其反射率和透射率的影响。研究表明随着...
关键词:氧化银薄膜 直流反应磁控溅射 Ag2O薄膜 快速热处理 
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