韩传余

作品数：3被引量：4H指数：1
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供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文主题：常压等离子体常压移动机械手放电区放电等离子体更多>>
发文领域：电子电信金属学及工艺更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》《物理》《科技导报》更多>>
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超低k介质材料低损伤等离子体去胶工艺进展被引量：1
《微纳电子技术》2011年第11期733-738,共6页吴元伟 韩传余 赵玲利 王守国 
国家科技02重大专项基金资助项目(2009ZX0203008)
介绍了三类常见的低k介质材料,并对空气隙(k=1)的发展进行了探讨;讨论了引起等离子体损伤的机理和传统的O2等离子体去胶工艺面临的困难;最后综述了近年来国际上提出的低损伤等离子体去胶工艺的研究进展。人们已经开发出一些对低k材料进...
关键词：等离子体去胶 多孔超低k介质 空气隙 等离子体损伤 损伤修复 金属硬掩膜(MHM) 
微等离子体三极管及其应用被引量：1
《物理》2010年第12期844-846,共3页韩传余 杨景华 王守国 
国家科技02重大专项基金(批准号:2009ZX0203008)资助项目
一种新型的微电子器件——微等离子体三极管近期被成功研制出来.它的问世奠定了未来更加节能、更加轻便的,具有更高分辨率和更高对比度的等离子体显示的新技术革命基础.文章介绍了微等离子体三极管的工作原理和基本特性,展望了它在发光...
关键词：微等离子体三极管 类MOS结构 综述 等离子体显示平板 
微等离子体喷枪及其应用被引量：2
《科技导报》2010年第20期91-96,共6页韩传余 吴瑜 王守国 
微等离子体喷枪是一类重要的微等离子体源,已成为近年国际上低温等离子体研究的热点课题之一。与常规等离子体喷枪相比,微等离子喷枪具有低功耗、低温度、高密度等特性。由于电极间隙小,适合于高气压或大气压下运行,因而微等离子体喷枪...
关键词：常压等离子体 微等离子体喷枪 微空心阴极放电 微介质阻挡放电 
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