谢晖

作品数：16被引量：91H指数：6
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供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
发文主题：显微镜原子力显微镜MEMS探针机器人更多>>
发文领域：自动化与计算机技术文化科学电子电信机械工程更多>>
发文期刊：《传感技术学报》《光学精密工程》《哈尔滨工业大学学报》《中国机械工程》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划国防基础科研计划长江学者和创新团队发展计划黑龙江省教育厅科学技术研究项目更多>>
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基于原子力显微镜的三维表面多参数检测技术
《中国科学：技术科学》2024年第12期2221-2254,共34页耿俊媛 张号 孟祥和 谢晖 赵新 
国家自然科学基金项目(批准号:62027812,62333012,61925304,62403257)资助。
三维微纳电子器件因其结构紧凑、功能密度高等特点,逐渐成为主流的半导体元件形式,实现三维微纳表面多参数量化分析是控制三维器件功能质量的关键.原子力显微镜具备高分辨率力反馈成像能力,是实现微纳表面形貌、电学和力学特性同步检测...
关键词：三维微纳电子器件 原子力显微镜 三维表面形貌 三维表面电势 三维表面纳米力学特性 
面向靶向医疗的微纳米机器人被引量：5
《自然杂志》2020年第3期187-200,共14页孙猛猛 谢晖 
微纳米机器人指的是尺度在微纳米级别(几纳米至几百微米)的微型机器人,其能够将磁能、光能、声能或其他形式的能量转化为机械运动,具备能完成更高效、更精确局部诊断和靶向治疗的潜在功能,在生物医学领域有广阔的应用前景。文章详细介...
关键词：微纳米机器人 制备方式 驱动机理 靶向医疗 
面向微机电系统组装与封装的微操作装备关键技术被引量：8
《机械工程学报》2008年第11期13-19,共7页孙立宁 陈立国 荣伟彬 谢晖 刘延杰 
国家高技术研究发展计划(863计划.2006AA04Z256;2007AA04Z343);长江学者和创新团队发展计划(IRT0423)资助项目。
对微机电系统(Micro electro mechanical systems,MEMS)组装与封装工艺的特点进行了总结分析,给出了MEMS组装与封装设备的研究现状。针对MEMS产业发展的特点,分析了面向MEMS组装与封装的微操作设备中的工艺参数优化数据库、快速精密定...
关键词：微机电系统 组装 封装 微操作 
新型集成三维微力检测微夹持器被引量：7
《光学精密工程》2007年第4期550-556,共7页王家畴 荣伟彬 孙立宁 谢晖 陈伟 
国家863计划资助项目(No.2004AA420040);国家863计划基金项目(No.2006AA04Z256);长江学者和创新团队发展计划资助项目
提出了一种以压阻检测技术为基础,压电陶瓷为微驱动元件,具有两级位移放大且集成三维微力传感器的微夹持器。采用有限元软件对微操持器放大机构和传感器弹性体进行分析,并给出了传感器的标定方法。实验证明,该传感器具有无耦合、测量分...
关键词：三维微力传感器 压电陶瓷 解耦 微夹持器 有限元分析 
一种集成三维微力传感器的微夹持器研制被引量：5
《压电与声光》2007年第2期175-178,共4页荣伟彬 谢晖 王家畴 孙立宁 陈伟 
国家"八六三"计划资助项目(2006AA04Z256);长江学者和创新团队发展计划资助项目
微操作中力的检测与控制是实现无损伤操作的关键。因此,该文提出了一种以压阻检测技术为基础,集成三维微力传感器的微夹持器。传感器标定实验结果表明,该传感器具有耦合小,测量分辨率高,线性度好的优点。传感器量程为-10^+10 mN,在x、y...
关键词：微夹持器 三维微力传感器 压阻检测 标定实验 
一种MEMS自动微装配机器人被引量：7
《哈尔滨工业大学学报》2006年第7期1013-1016,共4页谢晖 孙立宁 荣伟彬 陈立国 
国家高技术研究发展计划资助项目(2002AA404450).
介绍用于MEMS自动微装配的机器人系统的构成,讨论组成该系统的若干关键技术,包括宏/微精密定位技术、显微视觉系统、微夹持器的设计、系统的标定以及装配策略．集成各单元技术,以外径＜2 mm的微行星齿轮减速器为示范装配对象,研制能够...
关键词：微装配机器人 MEMS 自动装配 微行星齿轮减速器 
二维微动工作台分析及其优化设计方法被引量：9
《机械工程学报》2006年第B05期26-30,共5页荣伟彬 马立 孙立宁 谢晖 陈立国 
国家863计划资助项目(2002AA404550)。
设计了一种压电陶瓷驱动的二维微动工作台,采用结构力学理论建立了工作台的简化模型,并推导出工作台沿x、y方向刚度计算表达式。将工作台简化为2自由度弹簧一质点系统,得出其前二阶固有频率计算表达式。通过微动工作台固有频率及沿x、y...
关键词：柔性铰链 压电驱动 微动工作台 有限元法 
基于小波变换的显微图像清晰度评价函数及3-D自动调焦技术被引量：25
《光学精密工程》2006年第6期1063-1069,共7页王义文 刘献礼 谢晖 
黑龙江省教育厅科技项目(No.10051068)
提出了基于小波变换的图像清晰度评价函数。采用大NA(数值孔径)和小NA的显微图像序列,比较分析了本文提出的评价函数和经典的归一化方差函数、熵函数、能量拉普拉斯函数以及另外两种基于小波变换评价函数的清晰度评价性能。同时采用带...
关键词：自动调焦 清晰度评价函数 小渡变换 3-D自动调焦 
MEMS压力传感器批量组装设备的研制
《传感技术学报》2006年第05B期1847-1851,共5页荣伟彬 陈立国 孙立宁 谢晖 
图家863计划项目资助(2005AA404230)
针对当前MEMS产业化推进过程中的小批量的发展现状,研究面向批量组装的MEMS微操作实用化系统具有重要实际价值.针对MEMS高温压力传感器产业化发展过程中的批量化键合工艺需求,从分析压力传感器键合工艺入手,研究批量组装关键技术,最后...
关键词：MEMS 批量组装 压力传感器 
用于MEMS传感器批量制造的微装配系统(英文)被引量：7
《传感技术学报》2006年第05A期1573-1579,共7页荣伟彬 谢晖 孙立宁 
国家863计划资助项目(2004AA420040);博士生启动基金资助(20030358018);教育部杰出青年教师基金资助
手工操作限制了MEMS传感器的批量生产.为了降低生产成本,同时提高传感器的产品质量,研制了柔性自动阳极键合系统.该系统包括一系列功能模块,包括精密定位系统、显微视觉子系统、柔性微操作手、加热系统、键合夹具、物流系统以及其它的...
关键词：MEMS传感器 批量制造 柔性装配系统 
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