吕反修

作品数：222被引量：692H指数：12
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供职机构：北京科技大学更多>>
发文主题：金刚石膜金刚石金刚石薄膜CVD化学气相沉积更多>>
发文领域：理学一般工业技术金属学及工艺化学工程更多>>
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直流电弧等离子体喷射法生长大尺寸金刚石单晶被引量：4
《超硬材料工程》2018年第2期31-40,共10页吕反修 黑立富 李成明 唐伟忠 李国华 郭辉 孙振路 
化学气相沉积(CVD)大尺寸高质量金刚石单晶是近年来在CVD金刚石膜研究领域所取得的重大研究进展之一。迄今为止的研究,绝大多数都是采用微波等离子体CVD,在高腔压下(10~30kPa)进行的。这是因为,在高腔压下,微波等离子体球急剧收缩,从而...
关键词：金刚石单晶 外延生长 CVD DC ARC PLASMA JET 
金刚石自支撑膜衬底生长立方Y_2O_3薄膜的性能被引量：2
《材料热处理学报》2014年第7期177-181,共5页王猛 李成明 陈良贤 刘金龙 郭建超 魏俊俊 黑立富 吕反修 
国家自然科学基金(51272042);教育部博士点基金(2011000110011)
采用射频磁控溅射法在抛光的CVD金刚石膜上制备了立方(222)择优取向的Y2O3薄膜,利用XRD,纳米力学探针,划痕仪,FTIR和TEM等手段研究了退火对Y2O3薄膜的结构、力学性能和红外透过率的影响及Y2O3的微观结构。结果表明:通过退火Y2O3薄膜的...
关键词：CVD金刚石 Y2O3 退火 力学性能 红外透过 
我国直流电弧等离子体喷射金刚石膜制备技术历史、现状与趋势被引量：2
《超硬材料工程》2014年第2期18-25,共8页吕反修 
在热丝CVD(HFCVD),微波等离子体CVD(MWCVD),直流电弧等离子体喷射(DC Arc Plasma Jet)和燃烧火焰沉积(Flame Deposition)四种应用最广泛的金刚石膜制备方法中,DC Arc Plasma Jet被认为是最有工业化应用前景的技术。在我国863计划的大力...
关键词：高功率直流电弧等离子体喷射 金刚石膜 产业化 综述 
直喷式直流电弧等离子化学气相沉积法金刚石单晶外延层制备研究
《人工晶体学报》2014年第4期748-753,共6页刘杰 黑立富 陈广超 李成明 宋建华 唐伟忠 吕反修 
国家自然科学基金(51102013)
采用非循环直流喷射(直喷式)直流电弧等离子化学气相沉积法,在Ar/H2/CH4气氛下,成功制备了金刚石单晶外延层。试验采用的是3 mm×3 mm×1.2 mm的高温高压Ib型金刚石单晶衬底。研究了不同衬底温度和甲烷浓度对金刚石单晶外延层的形貌,速...
关键词：金刚石单晶 外延层 衬底温度 甲烷浓度 生长速率 
CVD金刚石大单晶外延生长及高技术应用前景被引量：14
《热处理》2013年第5期1-12,共12页吕反修 黑立富 刘杰 宋建华 李成明 唐伟忠 陈广超 
自然科学基金项目资助;项目编号:51102013
CVD(化学气相沉积)金刚石大单晶生长是CVD金刚石膜研究领域在过去十余年中所取得的重大技术进展之一,在一系列高新技术领域有极其重要的应用前景。针对CVD金刚石大单晶的制备和应用进行了综述。首先对CVD金刚石大单晶生长技术进行了概...
关键词：金刚石大单晶 化学气相沉积(CVD) 外延生长 高技术应用 
贫氢富氩气氛下超纳米金刚石薄膜的生长(英文)被引量：6
《新型炭材料》2013年第2期134-139,共6页刘杰 黑立富 陈广超 李成明 唐伟忠 吕反修 
National Natural Science Foundation of China(50872010,51102013)~~
利用微波等离子气相沉积法在5%～20%的氢气浓度下,制备出了超纳米金刚石薄膜(UNCD)。利用扫描电子显微镜、XRD、表面轮廓仪及拉曼光谱研究了氢气浓度对超纳米金刚石薄膜的微结构、形貌、以及相组成的影响。结果表明,随着氢气浓度的增加...
关键词：超纳米金刚石薄膜 氢气浓度 晶粒粒径 
ZnS衬底表面制备HfO_2增透保护膜的性能被引量：2
《材料热处理学报》2012年第10期130-134,共5页赵晓静 李成明 陈良贤 刘金龙 冯寅楠 黑立富 吕反修 
国家自然科学基金(51272042);教育部博士点基金(2011000110011)
用射频磁控溅射法在CVD ZnS衬底上制备了HfO2薄膜,利用X射线衍射(XRD),扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、傅里叶红外光谱(FTIR)和纳米力学探针对HfO2薄膜的结构和性能进行了分析和测试。结果表明,制备的HfO2为单斜相,膜层致密、表面...
关键词：ZNS HFO2薄膜 增透保护膜 射频磁控溅射 
非对称双极脉冲反应磁控溅射制备TiN/NbN多层膜被引量：4
《材料工程》2012年第7期92-96,共5页黑立富 徐俊波 陈良贤 李成明 吕反修 
国家自然科学基金项目(51102013)
采用非对称双极脉冲磁控溅射制备了一系列不同调制周期的TiN/NbN纳米多层膜,利用X射线衍射分析(XRD)、纳米压痕仪、扫描电子显微镜(SEM)表征了薄膜的微观结构、力学性能和断口形貌。结果表明,在调制周期为19.86nm时,纳米压痕硬度达到43...
关键词：纳米多层膜 力学性能 调制周期 
金刚石单晶的化学气相沉积制备及其在粒子探测器件中的应用被引量：7
《人工晶体学报》2012年第S1期289-294,共6页李彬 李宏 吕反修 陈广超 
国家自然基金支持(50472095;50872009);北京市自然科学基金(2062015)
自2002年世界上第一颗采用化学气相沉积(CVD)方法制备的大尺寸金刚石单晶被报道之后,碳材料领域在世界范围内再一次掀起了CVD金刚石的研究热潮,单晶CVD金刚石也成为与石墨烯研究热度相当的又一种碳材料。几乎同时,将这种优异的材料在各...
关键词：化学气相沉积 金刚石单晶 探测器 
预处理对超纳米金刚石薄膜表面质量的影响被引量：1
《人工晶体学报》2012年第2期302-305,共4页黑立富 刘杰 刘金龙 李成明 宋建华 吕反修 
国家自然科学基金资助项目(51102013/E0206)
本文研究了金刚石粉手工研磨及超声波震荡两种预处理方法对硅片衬底及超纳米金刚石膜表面粗糙度和形貌的影响,利用表面轮廓仪、X射线衍射分析(XRD)、激光拉曼、场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)对衬底及超纳米金刚石膜进行表征。结果表明,...
关键词：超纳米金刚石 粗糙度 表面质量 遗传特性 
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