于天燕

作品数:23被引量:73H指数:5
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供职机构:中国科学院上海技术物理研究所更多>>
发文主题:宽光谱分色片离子辅助沉积基底基底温度更多>>
发文领域:理学电子电信机械工程电气工程更多>>
发文期刊:《光学学报》《红外与毫米波学报》《发光学报》《物理学报》更多>>
所获基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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组分掺杂对YbF_(3)薄膜材料光学和理化特性的影响及其在红外光学薄膜元件制备中的应用
《红外与毫米波学报》2025年第1期86-96,共11页马秋静 段微波 于天燕 李大琪 余德明 刘保剑 庄秋慧 刘定权 
国家重点研发计划(2021YFB3701500)。
本文研究了沉积方式及氟化钙(CaF_(2))的掺杂对氟化镱(YbF_(3))薄膜材料光学和理化特性的影响。分别使用电子束蒸发工艺和电阻蒸发工艺,制备了纯YbF_(3)薄膜及掺杂不同比例CaF_(2)的YbF_(3)薄膜,通过光谱测量、应力测量、X射线衍射(XRD...
关键词:红外 光学薄膜 氟化镱 掺杂 增透 
低偏振超宽光谱分色膜设计与制备被引量:1
《红外与毫米波学报》2024年第3期406-412,共7页于天燕 秦杨 蒋林 段微波 刘定权 
可见/红外超宽光谱分色片是星载中分辨率光谱成像仪Ⅲ型光学系统中的重要光学薄膜器件。利用诱导透射原理,采用金属-介质膜系结构加非对称等效导纳匹配层,实现了45°入射时0.4~1.05μm光谱高效透射,1.35~13μm波段光谱高效反射,从而将...
关键词:光学薄膜 超宽光谱分色片 诱导透射 偏振灵敏度 
用于海洋水色定量化遥感的光学薄膜技术被引量:1
《光学学报》2023年第24期12-20,共9页蔡清元 冯旗 陈刚 宋庆君 黄小仙 于天燕 丁静 李耀鹏 刘保剑 刘建强 段微波 刘定权 
国家自然科学基金(62275256,61805267);中国科学院青年创新促进会(2019241);国家重点研发计划(2021YFB3701504);中央引导地方科技发展资金项目(YDZX20213100003011);上海市自然科学基金(18ZR1445400)。
以海洋一号C/D卫星中国水色水温扫描仪[COCTS (HY-1C/D)]的光学薄膜研制为例,介绍了海洋水色定量化遥感中应用的光学薄膜技术。在单片基片的不同通道区域依次镀制多块滤光膜以抑制杂散光的产生,充分研究了光束空间角频率分布带来的光谱...
关键词:海洋光学 中国水色水温扫描仪 定量化遥感 光学薄膜 多波段集成滤光片 偏振灵敏度 
沉积工艺对YbF_3薄膜可靠性的影响被引量:5
《光学学报》2018年第7期377-382,共6页冯毅东 于天燕 刘定权 
从沉积方式、薄膜厚度、沉积温度和离子束能量四个方面,研究了沉积工艺对氟化镱(YbF3)薄膜可靠性的影响。研究结果表明,相较于电阻加热蒸发方式,用电子束加热蒸发得到的YbF3薄膜,其致密性更好,水汽吸收更少;薄膜太厚或沉积温度太高会加...
关键词:薄膜 氟化镱 可靠性 离子束辅助沉积 应力 附着力 
离子辅助沉积对ZnS薄膜晶体结构及光学特性的影响被引量:2
《激光与光电子学进展》2017年第10期457-462,共6页冯毅东 秦杨 于天燕 
对不同离子束密度条件下辅助沉积的ZnS薄膜进行了物理及光学特性研究。研究结果表明,在离子束辅助沉积ZnS薄膜时会出现非均匀生长现象,且非均匀性和折射率会随着离子束密度的增加而增大,薄膜结晶程度也增加。薄膜的非均匀性增加了薄膜...
关键词:薄膜 光学特性 离子束辅助沉积 硫化锌薄膜 非均匀性 折射率 
0.55~0.85μm波段增透膜的相位调控设计与研制被引量:3
《光学学报》2016年第7期318-322,共5页李大琪 于天燕 陈刚 刘保剑 余德明 段微波 刘定权 
在0.55~0.85μm波段范围内,在保证薄膜高透射率的同时对其相位进行调控,是多偏振成像模块项目研制的关键技术。采用等效膜层理论,使用三种氧化物薄膜材料:Ta2O5、Al2O3、SiO2,在光学玻璃H-LaK4L基底上设计并制备了相位调控增透膜。经...
关键词:薄膜 增透膜 相位调控膜 
沉积温度对硫化锌(ZnS)薄膜的结晶和光学特性影响研究被引量:9
《物理学报》2013年第21期206-210,共5页于天燕 秦杨 刘定权 
对不同温度下沉积的ZnS薄膜的结晶情况和光学特性进行了研究,结果表明:沉积温度对ZnS薄膜的物理和光学特性有较大影响,不同的温度沉积的ZnS薄膜具有不同的择优取向,牢固度也大不相同;不同沉积温度下,ZnS薄膜的光学常数也不尽相同.温度为...
关键词:硫化锌薄膜 沉积温度 表面形貌 光学常数 
SrF2-CaF2混合物薄膜的物理及红外光学特性研究
《物理学报》2010年第4期2546-2550,共5页于天燕 秦杨 刘定权 张凤山 
中国科学院上海技术物理研究所三期创新(批准号:B1-13)资助的课题~~
采用热蒸发和电子束蒸发两种沉积方式分别沉积了相同厚度的SrF2-CaF2(比例为1∶1)的混合物薄膜,对其物理和光学特性进行了研究,并定量地给出了其在红外波段的光学常数,填补了这一数据的空白.同时提供了一种获得不同低折射率薄膜的方法....
关键词:SrF2-CaF2混合物薄膜 表面形貌 红外光学特性 宽光谱增透膜 
锗窗口红外宽光谱增透膜的研制被引量:6
《光学学报》2010年第4期1197-1200,共4页于天燕 成效春 秦杨 刘定权 张凤山 
红外宽光谱增透膜作为红外光学系统中的关键元件,其研究是一项比较复杂而备受重视的工作。针对风云二号辐射计锗窗口的宽光谱增透膜的要求,通过对镀膜材料在既定工艺条件下的光学参数的准确拟合,采用非对称等效层理论,并将材料光学参数...
关键词:薄膜 红外光学薄膜 宽光谱增透膜 非对称等效层 光学参数 
成像光谱仪用0.4~1.1μm宽光谱分色片的研制被引量:1
《光学仪器》2009年第1期85-89,共5页于天燕 徐美 成效春 刘定权 
分色片是成像光学系统的关键元件之一。为了满足:45。角度下使用时,0.6~1.1μm,透射率(T)大于80%;0.4-0.6μm,反射率(R)大于90%;且尤其注重0.625μm具有高透射性,0.575μm具有高反射性的使用要求,研制了应用于成像...
关键词:光学薄膜 分色片 变极值监控 离子辅助沉积 
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