曹冰

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：合肥工业大学更多>>
发文主题：X射线衍射原子力显微镜ZNO薄膜脉冲激光沉积离子束溅射更多>>
发文领域：一般工业技术电子电信更多>>
发文期刊：《真空与低温》更多>>
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新型工艺制备ZnO薄膜的结构与形貌研究被引量：1
《真空与低温》2007年第2期81-84,119,共5页曹冰 何晓雄 李合琴 顾金宝 赵之明 刘炳龙 
安徽省自然科学基金(03044703)资助
采用了一种新型工艺制备ZnO薄膜。新工艺采用二步法,首先在N型Si(100)衬底上用离子束沉积溅射一层金属Zn膜,然后通过热氧化金属Zn膜制备ZnO薄膜。通过X射线衍射、原子力显微镜对不同制备工艺下的ZnO薄膜进行结构与形貌的分析比较。研究...
关键词：ZNO薄膜 X射线衍射 原子力显微镜 
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