王质武

作品数：7被引量：15H指数：2
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供职机构：深圳大学光电子学研究所广东省光电子器件与系统重点实验室更多>>
发文主题：氮化铝薄膜稀土氮化铝化学计量比直流磁控溅射更多>>
发文领域：理学电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊：《硅酸盐学报》《硅酸盐通报》《压电与声光》《人工晶体学报》更多>>
所获基金：教育部留学回国人员科研启动基金广东省粤港关键领域重点突破项目深圳市科技计划项目更多>>
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铝基板上沉积氮化铝薄膜的制备及特性分析被引量：2
《材料热处理学报》2008年第4期157-160,共4页刘文 杨清斗 李华平 王质武 
教育部(广东省)光电子器件与系统重点实验室开放基金项目(2007008)
采用直流反应磁控溅射方法,在铝基板上制备了AlN薄膜。利用X射线衍射仪、带能量色散谱仪的扫描电子显微镜、阻抗特性测试仪、椭圆偏振光谱仪、大荷载划痕仪等对薄膜特性进行测试,分析了不同溅射工艺条件对生长薄膜的影响。结果表明,获...
关键词：氮化铝 反应磁控溅射 X射线衍射 化学计量比 击穿场强 结合力 
硅基氮化铝薄膜的AFM和XPS分析被引量：2
《压电与声光》2007年第6期723-725,共3页刘文 王质武 杨清斗 卫静婷 
留学回国人员科研启动基金资助项目(教外司留2001-498)
在Si(111)基底上利用直流磁控溅射系统沉积氮化铝(AlN)薄膜,X-射线衍射分析薄膜结构和取向,原子力显微镜分析薄膜表面形貌,X-射线光电子能谱分析薄膜的元素化学价态和组分。结果表明,生长的AlN薄膜具有良好的(100)择优取向,其半峰宽为0....
关键词：氮化铝 直流磁控溅射 原子力显微镜 X射线光电子能谱 化学计量比 
稀土掺杂氮化镓的发光机理、制备方法及其电致发光器件的应用
《功能材料》2007年第A01期21-24,共4页王质武 刘文 张勇 杨清斗 卫静婷 唐伟群 张浩希 
基金项目：留学回国人员科研启动基金资助项目（教外司留2001-498）
介绍了稀土掺杂氮化镓（GaN：RE）的发光机理及其掺杂的方法（热扩散、离子注入和原位掺杂），对各种方法的优势及其存在的问题进行了点评，综述了近年来国内外稀土掺杂GaN的研究进展及其相关电致发光器件在平板显示领域的应用。
关键词：稀土 氮化镓 电致发光 平板显示 
氮化铝薄膜的光学性质(英文)被引量：5
《硅酸盐学报》2007年第5期616-618,623,共4页刘文 王质武 杨清斗 刘毅 卫静婷 唐伟群 
留学回国人员科研启动基金(教外司留2001-498)资助项目
采用直流磁控溅射法在石英衬底上制备了氮化铝(AlN)薄膜。用 X 射线衍射仪分析了薄膜结构。利用椭圆偏振仪和紫外/可见/近红外分光光度计对 AlN 薄膜进行了相关光学性能的研究,获得到了薄膜的折射率随波长的色散关系曲线。在波长为 250...
关键词：氮化铝 石英衬底 折射率 吸收系数 透射光谱 
氮化铝薄膜光学常数和结合力测试分析被引量：1
《硅酸盐通报》2007年第5期935-938,979,共5页杨清斗 刘文 王质武 卫静婷 
留学回国人员科研启动基金(教外司留2001-498)
用直流磁控溅射方法在硅衬底上制备氮化铝薄膜。X射线衍射仪和X射线光电子能谱仪分析了薄膜的结构和成分;椭圆偏振仪测量并拟合获得AlN薄膜在250～1000nm波长范围内的折射率和消光系数曲线;利用大荷载划痕仪的声发射谱检测方法并结合不...
关键词：氮化铝薄膜 椭圆偏振仪 消光系数 划痕仪 结合力 
Ni/Au与p-GaN的比接触电阻率测量被引量：3
《液晶与显示》2006年第6期655-659,共5页卫静婷 冯玉春 李炳乾 杨建文 刘文 王质武 施炜 杨清斗 
广东省关键领域重点突破项目(No.2B2003A107);深圳市科技计划项目(No.200515);深圳大学省;部重点实验室开放基金项目
通过采用环形传输线方法(CILM),电流-电压(I-V)曲线、表面形貌等方法,研究不同的Ni/Au厚度比和空气气氛下合金退火温度对p型氮化镓欧姆接触特性造成的影响。根据Ni/Au与p型氮化镓欧姆接触的形成机制,采用合适的Ni/Au厚度比及退火温度,...
关键词：p型氮化镓 镍/金 比接触电阻率 
直流磁控反应溅射制备(002)择优取向AlN薄膜被引量：2
《人工晶体学报》2006年第5期1113-1117,共5页王质武 刘文 杨清斗 卫静婷 
留学回国人员科研启动基金(教外司留2001-498)
采用直流磁控溅射法,A l靶直径75mm,靶基距9 cm,本底真空3×10-5Pa,气体分压N2/Ar=1/3,工作气压0.2Pa,溅射功率72W,溅射时间1h,溅射过程不加热,使其自然升温,在S i(100)衬底上制备A lN薄膜。结合椭圆偏振仪、X射线衍射(XRD)、X射线光电...
关键词：氮化铝薄膜 直流磁控溅射 择优取向 
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