赵水平

作品数:6被引量:6H指数:2
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供职机构:中国科学院上海技术物理研究所更多>>
发文主题:碲镉汞碲镉汞材料铟柱光导器件衬底更多>>
发文领域:电子电信理学更多>>
发文期刊:《半导体光电》《红外与毫米波学报》《红外与激光工程》更多>>
所获基金:国家自然科学基金上海市自然科学基金更多>>
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碲镉汞线列光导器件的失效模式及原因分析被引量:1
《红外与毫米波学报》2022年第6期1009-1021,共13页乔辉 王妮丽 兰添翼 赵水平 田启智 陆液 王仍 霍勤 施帆 汤亦聃 储开慧 贾嘉 周青 孙晓宇 姜佩璐 罗毅 陈心恬 李向阳 
上海市青年科技英才扬帆计划(19YF1454800)。
针对不同项目研制过程中碲镉汞线列光导器件在筛选测试和应用中出现的失效模式进行了归纳和总结,并综合碲镉汞材料参数、器件结构尺寸、器件物理、器件制备工艺和器件测试等几个方面因素对器件失效的可能原因进行了分析,首次提出碲镉汞...
关键词:碲镉汞 光导器件 失效分析 
ICP刻蚀气压对碲镉汞电学性能的影响
《半导体光电》2017年第1期61-65,69,共6页操神送 杜云辰 朱龙源 兰添翼 赵水平 罗毅 乔辉 
国家自然科学基金项目(11304335)
研究了利用ICP(Inductively Coupled Plasma)干法刻蚀工艺制备长波碲镉汞光导器件过程中刻蚀气体压强对材料电学参数的影响。发现增大气体压强会导致材料的电学性能衰退,表现为材料的载流子浓度增加、迁移率降低以及电阻率增加。分析认...
关键词:ICP干法刻蚀 碲镉汞光导材料 刻蚀气压 电学特性 
化学机械抛光产生的碲镉汞材料亚表面损伤层的研究被引量:1
《红外与激光工程》2016年第12期1-5,共5页乔辉 陈心恬 赵水平 兰添翼 王妮丽 朱龙源 李向阳 
国家自然科学基金(11304335)
针对化学机械抛光工艺对碲镉汞材料所产生的亚表面损伤层进行了研究。利用椭圆偏振光谱方法对经过腐蚀剥层的碲镉汞材料表面进行了光学表征,认为化学机械抛光工艺造成的亚表面损伤层的深度大概为抛光工艺中所使用研磨颗粒直径的15~20倍...
关键词:化学机械抛光 亚表面损伤 椭圆偏振 少子寿命 碲镉汞 
感应耦合等离子体干法刻蚀中光刻胶掩模的异常性被引量:2
《半导体光电》2016年第1期59-62,共4页乔辉 刘诗嘉 刘向阳 朱龙源 兰添翼 赵水平 王妮丽 李向阳 
国家自然科学基金项目(61106097)
利用光刻胶作刻蚀掩模对半导体样品进行感应耦合等离子体干法刻蚀时发现光刻胶掩模在刻蚀后表面出现凸起和孔洞等异常现象,等离子体会透过部分孔洞对样品表面产生刻蚀损伤。利用探针式表面轮廓仪和激光共聚焦显微镜对这些异常现象进行...
关键词:刻蚀 干法刻蚀 刻蚀掩模 光刻胶 感应耦合等离子体 
长波碲镉汞材料阳极氧化膜/ZnS界面的电学特性参数被引量:2
《红外与毫米波学报》2013年第2期132-135,共4页王妮丽 刘诗嘉 兰添翼 赵水平 李向阳 
国家自然科学基金(60907048;60807037);上海市自然科学基金(10ZR1434500)~~
通过碲镉汞阳极氧化膜和磁控溅射ZnS膜,结合HgCdTe器件工艺,成功制备了以阳极氧化膜和磁控溅射ZnS双层钝化膜为绝缘层的"长波弱P"型HgCdTe MIS器件.通过对器件的C-V特性实验分析,获得了长波HgCdTe材料的阳极氧化膜/ZnS界面电学特性参数...
关键词:碲镉汞 MIS 钝化 
两种不同方法测试HgCdTe材料少数载流子寿命
《红外与激光工程》2012年第11期2875-2878,共4页王妮丽 刘诗嘉 兰添翼 赵水平 姜佩璐 李向阳 
国家自然科学基金(60907048);上海市自然科学基金(10ZR1434500)
通过传统光电导衰退法和微波反射光电导衰退法两种方法对长波、中波及短波碲镉汞材料进行了载流子寿命测试,并对结果进行了比较。通过对比发现这两种方法测得的中波和短波材料的结果相差不大。但是对于长波材料,载流子寿命测试结果相差...
关键词:少数载流子寿命 光电导衰退 碲镉汞 
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