何金江

作品数：27被引量：207H指数：8
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发文领域：金属学及工艺一般工业技术冶金工程电子电信更多>>
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高纯致密氧化镁陶瓷的常压和真空烧结被引量：9
《稀有金属》2018年第4期402-407,共6页陈淼琴 何金江 张玉利 丁照崇 贺昕 
北京市科技新星项目(Z1511000003150102)资助
MgO为重要的功能型材料,磁隧道结（MTJ）以MgO薄膜作为势垒层时在室温下具有巨大的隧穿电阻效应。实验采用冷等静压（CIP）工艺将高纯MgO粉末（纯度〉99.99%）压制成相对密度为60%左右的坯体,再在500℃充分煅烧后分别进行常压烧结和真...
关键词：MgO陶瓷 常压烧结 真空烧结 致密化 
超高纯CuMn合金材料微观组织和织构演变研究被引量：6
《稀有金属》2017年第2期120-125,共6页关冲 何金江 曾浩 万小勇 李勇军 
北京市科技新星项目(Z1511000003150102)资助
当前超大规模集成电路(ULSI)的特征尺寸已经步入纳米范围,随着特征尺寸的减小,铜互连面临着严重的可靠性问题,采用合金化手段可有效抑制晶界附近的电迁移。因而本文主要研究超高纯铜锰合金材料,通过金相(OM)、电子背散射衍射(EBSD)等分...
关键词：铜锰合金 溅射靶材 织构 微观组织 
真空热压烧结对高纯W-Si合金靶材性能影响被引量：3
《稀有金属材料与工程》2014年第6期1403-1406,共4页丁照崇 何金江 罗俊锋 李勇军 熊晓东 
以高纯W-Si合金粉（〉99．995％）为原料，采用真空热压烧结工艺制备高纯W-Si合金靶材。研究烧结温度、热压压力、保温时间等工艺条件对靶材密度、微观组织性能的影响。结果表明，烧结温度在1350-1380℃，热压压力25～30MPa，保温时间1...
关键词：高纯W-Si合金 磁控溅射靶材 真空热压烧结 
高纯铝与铜爆炸焊接性能分析被引量：5
《有色金属（冶炼部分）》2014年第5期56-59,67,共5页陈明 万小勇 董亭义 何金江 高岩 吕保国 
国家02重大科技专项(2011ZX02705)
使用爆炸焊接对高纯铝与铜坯料进行连接,将超声C-scan应用于爆炸焊接复合板坯的无损探伤,并从坯料微观组织和力学性能等方面分析了焊接性能。结果表明,C-scan能够在不破坏板坯的情况下,全面快速检测爆炸焊合率;焊接完成后,铝板坯晶粒间...
关键词：高纯铝 爆炸焊 超声无损探伤 微观组织 
半导体用高利用率长寿命溅射靶材的研制被引量：9
《半导体技术》2014年第1期71-77,共7页何金江 万小勇 周辰 李勇军 熊晓东 王兴权 
国家科技重大专项资助项目(2011ZX02705-004;2014ZX02501-011)
半导体制造工艺中使用的高纯金属溅射靶材的利用率直接关系到靶材自身的使用寿命和芯片制作的成本，在靶材研制中需要重点关注。以晶圆制造中广泛应用的高纯铝、铜等靶材为例，介绍了溅射靶材的发展演变，并以靶材使用前后轮廓测量为基...
关键词：溅射靶材 半导体 靶材设计 利用率 长寿命 
高纯贵金属靶材在半导体制造中的应用与制备技术被引量：26
《贵金属》2013年第S01期79-83,共5页何金江 陈明 朱晓光 罗俊锋 尚再艳 贺昕 熊晓东 
2012年国家科技支撑计划项目(2012BAE06B06;2012BAE06B07)资助
高纯Au、Ag、Pt、Ru贵金属及其合金溅射靶材是半导体PVD工艺制程中的溅射源材料,广泛用于半导体制造工艺中,成为保证半导体器件性能和发展半导体技术必不可少及不可替代的材料。材料的高纯化、高性能贵金属及其合金靶材的制备(金属熔铸...
关键词：金属材料 半导体 溅射靶材 高纯 金 银 铂 钌 
钴再结晶退火的研究被引量：3
《热加工工艺》2013年第4期182-183,187,共3页范亮 尚再艳 黄志勇 李勇军 何金江 
在较大热轧变形量的情况下,研究了工业纯钴在两种不同退火冷却方式下,不同退火温度的金相组织和硬度,同时对样品进行了XRD分析。结果发现,冷却方式对显微硬度有异常影响,确定了工业纯钴的再结晶温度,也对空冷情况下显微硬度异常变化的...
关键词：钴 退火工艺 再结晶温度 显微硬度 
镍的电子束熔炼提纯研究被引量：10
《稀有金属》2013年第1期116-122,共7页尚再艳 张涛 陈明 朱晓光 刘红宾 何金江 
国家科技部"十二五"国家科技支撑计划项目(2012BAE06B00)资助
高纯镍是制造半导体集成电路及微电子行业用电子薄膜材料的原材料。采用电子束熔炼方法制备高纯镍,研究了一次和二次电子束熔炼对高纯镍锭纯度、表面质量和内部铸造缺陷的影响。通过对铸锭宏观形貌的观察和杂质含量的化学分析,发现一次...
关键词：电子束 熔炼 高纯镍 提纯 
无损检测在溅射靶材制造中的应用被引量：1
《无损检测》2012年第7期57-60,共4页刘红宾 刘伟 陈明 尚再艳 高岩 何金江 王欣平 吕保国 江轩 
作为关键原材料之一,电子信息产业对溅射靶材质量要求非常严格。无损检测对于确保溅射靶材质量具有重要意义。溅射靶材生产过程中应用的无损检测技术主要是X射线技术和超声波技术。无损检测工序的安排需要合理并兼顾生产效率。检测项目...
关键词：电子信息 溅射靶材 无损检测 超声波检验 
钌金属溅射靶材烧结工艺研究被引量：17
《粉末冶金工业》2012年第1期28-31,共4页罗俊锋 丁照崇 董亭义 何金江 王欣平 江轩 
采用热压、放电等离子烧结及直接热压等粉末冶金工艺制备了钌金属溅射靶材,通过对致密度、晶粒度与氧含量分析研究了工艺过程对钌金属靶材制备的影响,并对比分析了三种方法制备钌靶的特点。结果表明:通过工艺优化利用三种方法均能制备...
关键词：钌 溅射靶材 热压烧结 放电等离子烧结 直接热压 
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