刘世元

作品数：60被引量：220H指数：8
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供职机构：华中科技大学更多>>
发文主题：椭偏仪光学常数椭偏测量光学测量测量方法更多>>
发文领域：机械工程理学自动化与计算机技术电子电信更多>>
发文期刊：《中国机械工程》《光学学报》《半导体技术》《机械强度》更多>>
所获基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
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极大似然噪声估计的高动态范围叠层衍射成像术
《激光与光电子学进展》2024年第8期165-171,共7页李文杰 谷洪刚 刘力 钟磊 周玉 刘世元 
国家自然科学基金(52130504);湖北省重点研发计划(2021BAA013)。
衍射场作为叠层衍射成像技术(ptychography)的重要约束,其信息的丰富度和准确性将直接影响重构质量。提出一种基于极大似然噪声估计的高动态范围(ML-HDR)叠层衍射成像方法,即在探测器线性响应假设下,构建复合高斯噪声模型,根据极大似然...
关键词：计算成像 叠层衍射成像术 高动态范围 相位恢复 极大似然估计 
基于改进Yolov5s的光刻热点检测算法
《激光与光电子学进展》2023年第24期243-251,共9页吴清岳 刘佳敏 张松 江浩 刘世元 
国家自然科学基金(52130504,51975232,52205592);湖北省重点研发计划(2022BAA013)。
光刻热点检测是实现集成电路可制造性设计,保障集成电路芯片最终良率的关键。鉴于传统基于深度学习的光刻热点检测方法难以满足先进集成电路制造对检测精度的要求,提出了一种基于改进Yolov5s的检测算法,用于光刻版图热点缺陷的精确检测...
关键词：光刻热点检测 改进Yolov5s 检测精度 坐标注意力机制 Sigmoid线性单元激活函数 Scylla交并比损失函数 
“超精密测量技术”专题前言被引量：1
《激光与光电子学进展》2023年第3期I0002-I0002,I0001,共2页谭久彬 刘世元 赵维谦 居冰峰 
超精密测量是指测量精度达到纳米量级的先进测量技术、系统与仪器,是现代科技发展与高端装备制造的基石,涉及物理、材料、光学、机械、电子、控制和算法等多个学科的深度交叉与融合。超精密测量主要以非接触的光学测量方式为主,其涉及...
关键词：光学测量 超精密测量 重点发展方向 分辨力 现代科技发展 交叉与融合 先进测量技术 基础效应 
机械测试理论与技术研究:现状、趋势及展望
《激光与光电子学进展》2023年第3期3-12,共10页叶鑫 刘世元 邾继贵 黄志权 朱金龙 赖一楠 苗鸿雁 王岐东 
机械测试理论与技术是获取机械物理信息的主要途径,是推动工业生产和制造技术进步的“倍增器”。随着我国从“资本密集型、劳动密集型”产业逐步向“知识密集型”产业升级,以集成电路、航空航天、高速轨道交通、新能源汽车为代表的战略...
关键词：机械测试理论与技术 先进制造 精密测量 纳米测量 量子测量 
先进节点图案化晶圆缺陷检测技术被引量：5
《激光与光电子学进展》2023年第3期13-41,共29页刘佳敏 赵杭 吴启哲 冯献瑞 赵翔宇 张震阳 张楚苗 黄弢 朱金龙 刘世元 
国家自然科学基金(52175509,52130504);湖北省重点研发计划(2020BAA008)。
随着亚10 nm集成电路芯片逐步进入消费电子、互联硬件、电子医疗设备等领域,由半导体制造设备所引入的晶圆缺陷对集成电路在良率与价格方面的影响将不断显现,由此带来的对典型缺陷进行高速识别、定位与分类等制造过程控制环节,将变得越...
关键词：测量 晶圆检测 集成电路 光学检测 光学成像 电子束成像 热场成像 
集成电路制造在线光学测量检测技术:现状、挑战与发展趋势被引量：10
《激光与光电子学进展》2022年第9期403-426,共24页陈修国 王才 杨天娟 刘佳敏 罗成峰 刘世元 
国家自然科学基金(52022034,52130504,51727809);湖北省重点研发计划(2020BAA008)。
在线测量检测技术与装备是保证集成电路(IC)制造质量和良率的唯一有效技术手段,在IC制造过程中必须对IC纳米结构的关键尺寸、套刻误差,以及缺陷等进行快速、非破坏、精确测量与检测。本文首先从尺寸测量和缺陷检测两个方面介绍了IC制造...
关键词：测量 集成电路制造 纳米测量 光学测量 光学检测 关键尺寸 套刻误差 缺陷 
先进光谱椭偏测量技术及其在OLED中的应用被引量：3
《微纳电子与智能制造》2020年第2期41-62,共22页谷洪刚 柯贤华 丁可 赵雪楠 李先杰 刘世元 
国家自然科学基金项目(51727809,51805193,51525502);中国博士后基金项目(2016M602288)资助。
阐述光谱椭偏测量技术基本原理和椭偏测量数据分析方法,发展宽光谱穆勒矩阵椭偏仪等先进光谱椭偏测量技术和仪器。利用光谱椭偏测量技术精确标定典型OLED(organic light-emitting diode)材料基础光学数据,分析揭示有机材料分子取向及其...
关键词：光谱椭偏 有机发光二极管 纳米薄膜测量 光学常数表征 分子取向 光学各向异性 光学模拟 协同优化设计 
PET复合衬底上梯度介质薄膜厚度的椭偏表征
《激光技术》2019年第4期585-590,共6页郭春付 张传维 李伟奇 李晓平 刘世元 
国家重点研发计划资助项目(2017YFF0204705)
为了监控3维玻璃上聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)复合衬底介质膜膜厚,采用将PET复合衬底等效为单层基底材料的建模分析方法,通过椭偏测量技术实现了复杂衬底上TiO 2梯度折射率材料薄膜厚度的检测.结果表明,采用该方法测量的PET复合衬底上Ti...
关键词：测量与计量 聚对苯二甲酸乙二醇酯 复合衬底 介质膜 光谱椭偏 膜厚 
高分辨率定量遥感的偏振光效应与偏振遥感新领域被引量：9
《遥感学报》2018年第6期901-916,共16页晏磊 顾行发 褚君浩 尤政 刘世元 Hugh Motimor V.Chandrasekar 
国家自然科学基金(编号：49771057,40572167,40671135,40771153,61174220,41101328,60971086,60808035);北京市自然科学基金(编号：1093016)
随着航空航天高分辨率观测手段的逐步成熟,定量遥感在有效解决了光学地表多尺度效应后,更高分辨率的光学偏振效应在地表、大气、仪器3大要素方面逐步全面凸显出来,并直接决定或影响高分辨率观测系统的定量遥感效能实现和质量保障。例如...
关键词：高分辨率定量遥感 偏振光效应 地表偏振效应 大气偏振效应 仪器偏振效应 偏振遥感 
基于偏振态空间调制的紧凑型偏振光谱仪被引量：2
《红外与毫米波学报》2016年第5期557-563,583,共8页陶泽 刘佳敏 张传维 陈修国 江浩 刘世元 
基于散射场层析广义椭偏仪的三维纳米结构测量理论与方法(51475191);基于MOEMS技术的微型光谱椭偏仪研制(2014BEC052);基于穆勒矩阵椭偏实时测量的可控纳米褶皱制备机理研究(2015CFB278);纳米光学测量技术与仪器创新群体(2015CFA005)~~
提出并实现了一种紧凑型偏振光谱仪,该仪器采用光谱仪阵列,使测量光谱范围覆盖可见光波段;采用部分平行光路设计,简化了测量配置和系统校准方法;运用入射面旋转效应,实现了偏振态的空间并行调制,减少了测量时间.对多组样品测量的结果证...
关键词：偏振光谱仪 紧凑型 可见光谱 
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